Создание файла калибровки сводится к следующим действиям пользователя:
В левой колонке обозначены параметры (длины отмеченых промежутков), в правой их значения, которые нужно установить, куда мы и вписываем известные нам точно расстояния между точками (к примеру период решетки).
По оси абсцисс на графике отмечены проекции на ось X (или Y) точек ломаной отмеченной на полученном изображении, по оси ординат - истинные значения тех же точек. Строится график, отмеченный зеленой линией, а красная кривая получается его зеркальным отображением относительно прямой, являющейся биссектрисой угла, образованного осями координатной сетки, эта кривая используется для корректировки напряжения, управляющего пьезокерамическим манипулятором.
Есть одно замечание: если проекции точек построенной ломаной на ось y (или x) малы, что может произойти к примеру в том случае, если ломаная почти параллельна одной оси проецирования (достигается высокая точность) и перпендикулярна второй оси (возникает большая ошибка). В этом случае необходимо получить два калибровочных файла для быстрого и медленного направления сканирования (x-calibration и y-calibration-slow), для этого отмечаем на полученном изображении две кривые, так чтобы получились "хорошие" проекции как на одну так и на другую ось (см. рис. 2.14). Для того чтобы начать строить вторую кривую без привязки к первой необходимо, нажимая клавишу CTRL, отметить первую точку новой линии.
Полученные два файла объединяем в один, выбрав из каждого файла по блоку калибровочных данных с корректными значениями.